Wat zijn de toepassingen van de speciale as, hoge precisie lineaire as in wetenschappelijk onderzoek?

Speciale as Hoge precisie lineaire asis de kerntransmissiecomponent van precisieautomatiseringsapparatuur en wetenschappelijke onderzoeksinstrumenten. Het ontwerp, de productie en de prestaties overtreffen die van conventionele lineaire geleidingen ruimschoots.

Uitstekende positioneringsnauwkeurigheid en herhaalbaarheid: dit is het belangrijkste kenmerk. Het heeft meestal een micron (μm) of zelfs sub-micron positioneringsnauwkeurigheid en herhaalbaarheid (zoals ±1 μm of hoger). Dit is essentieel voor taken die een extreem hoge precisie vereisen.

Extreem lage bewegingsfout: Rechtheidsfout: De afwijking van het bewegingstraject van de ideale rechte lijn is extreem klein. Vlakheidsfout: De afwijking van het bewegingsvlak van het ideale vlak is erg klein.

Pitch/yaw/roll-fout: De rotatiehoekfout van de as rond elke as tijdens beweging wordt strikt gecontroleerd. Abbe-fout: Het ontwerp vermindert de invloed van Abbe-fouten aanzienlijk door de structuur te optimaliseren (zoals het colineaire/coplanaire ontwerp van de geleiderail en het meetpunt) of door compensatie-algoritmen te gebruiken.

Hoge stijfheid:Speciale as Hoge precisie lineaire asheeft een solide structureel ontwerp en de materialen en productieprocessen zijn uitstekend, waardoor het bestand is tegen kleine vervormingen veroorzaakt door externe belastingen (vooral laterale krachten of momenten), waardoor het onder belasting nog steeds een hoge nauwkeurigheid kan behouden. Wrijving en soepele beweging: Er wordt gebruik gemaakt van hoogwaardige geleidingsmethoden (zoals voorgespannen kogelgeleiders, rolgeleiders, hydrostatische geleidingen en luchtzwevende geleidingen), met lage en stabiele wrijving. Dit zorgt voor een extreem soepele, uniforme beweging (geen kruip) en een snelle start-stopreactie. Uitstekende thermische stabiliteit en aanpassingsvermogen aan de omgeving: Gebruik materialen met extreem lage thermische uitzettingscoëfficiënten (zoals keramiek, speciale legeringen), of compenseer thermische vervorming door middel van structureel ontwerp/actieve temperatuurregeling om nauwkeurigheid te garanderen bij temperatuurstijging of fluctuerende omgevingen. Sommige modellen hebben goede anti-vervuilingsmogelijkheden (vooral zwevende lucht, magnetische levitatie) of vacuümcompatibiliteit.

Feedbacksysteem met hoge resolutie: Meestal vormen geïntegreerde lineaire roosterschalen met ultrahoge resolutie (zoals nanometerresolutie) of laserinterferometers als positiefeedback met gesloten lus de basis voor het bereiken van controle op nanometerniveau.

Belangrijkste toepassingsgebieden: Productie en inspectie van halfgeleiders: Lithografiemachine (step-scan): De kern van de wafer- en maskerfase is de nauwkeurige positionering op nanometerniveau. Waferinspectieapparatuur: de precieze beweging van het sondestation en het microscopische beeldplatform voor inspectie en meting van defecten. Chipverpakking en testen: de kernbewegingsas van uiterst nauwkeurige plaatsingsmachines, draadverbindingsmachines en testsorteermachines. Precisie-optica en fotonica: verwerking en inspectie van optische componenten: direct laserschrijven, gereedschapswerktuigen voor het draaien van diamanten en positioneringsassen van interferometerplatforms.

Microscoop (confocaal, superresolutie): scannen en positioneren op nanoschaal van het podium en de objectieflens. Laserverwerkingsapparatuur: De as voor nauwkeurige positionering van het straalpad of werkstuk in microbewerkings-, markeer-, boor- en snijapparatuur. Hoogwaardige metrologie en inspectie: meetmachine met drie coördinaten: uiterst nauwkeurige beweging van de meetarm in een driedimensionale ruimte.

Profilometer/ruwheidsmeter/rondheidsmeter: Nauwkeurige positionering en scannende beweging van sensoren.

Lasertracker/interferometer-kalibratieplatform: Biedt een nauwkeurig referentiebewegingspad. Biowetenschappen en medische apparatuur: Gensequencer: nauwkeurige stappen en focussering van het monsterplatform en de optische scankop. Apparatuur voor celmanipulatie/micro-injectie: nauwkeurig richten en bewegen van micronaalden of laserstralen. Hoogwaardige medische beeldvormingsapparatuur: Nauwkeurige positioneringscomponenten van detectoren in PET/CT/MRI. Geavanceerde productie en wetenschappelijk onderzoek:

Ultraprecies bewerkingscentrum: voedingsbeweging van de as van werktuigmachines. FIB/SEM: Manipulatie van monsterstadia in gefocusseerde ionenbundel/scanning-elektronenmicroscoop. Experimenteel platform voor materiaalwetenschap: nauwkeurige positionering, laden of meting van kleine monsters. Experimenteel apparaat met kwantumtechnologie: uiterst nauwkeurige verplaatsingscontrole onder extreme omstandigheden (lage temperatuur, vacuüm) is vereist. Lucht- en ruimtevaart en defensie: testbank voor traagheidsnavigatieapparatuur, optisch richtsysteem, precisieservobesturingsmechanisme, enz.

Speciale as Hoge precisie lineaire asis de basishardware voor het bereiken van baanbrekende technologische doorbraken en upgrades van productieproces. De kenmerken van "hoge precisie, hoge stijfheid, hoge stabiliteit en lage fout" maken het tot een onmisbaar kernonderdeel op gebieden zoals chipproductie, precisiemeting, biogeneeskunde, baanbrekend wetenschappelijk onderzoek, enz. die strikte eisen stellen aan bewegingsnauwkeurigheid, en bepalen direct de bovengrens van de prestaties van de apparatuur.